你知道精密加工有幾(jǐ)種分類嗎?
【摘要】:精密加工對工件原料(liào)、加工設備(bèi)、東西、丈量和環境等條件都有特別的要求,需求綜合使用(yòng)精密機械、精密丈(zhàng)量、精密伺服係統、計算機(jī)控製以及其他先進技術。超精密加工的精度比傳統的精密(mì)加工提(tí)高了一個以上的數量(liàng)級,除(chú)需求選用新的加工辦法或新的(de)加(jiā)工機理之外,對工件原料,加工(gōng)設備、東西、丈(zhàng)量(liàng)和環境條件等都有特別的要求。 |
精密加工的精度比傳統的(de)精密加工提(tí)高了一個以上的數量級。
精密(mì)加工對工件原料、加工設備(bèi)、東西、丈量和環境等條件都有特別的要求,需求綜合使用精(jīng)密(mì)機械、精密(mì)丈量、精密(mì)伺服係統、計算機(jī)控製以及其他先進技術。超精密加工的精度比傳統的精(jīng)密(mì)加工提高了一個以上的數量級,除需求(qiú)選用新的加工(gōng)辦法或新的加工機理之外,對工件原料,加工設(shè)備、東西、丈量和環境條件等都有特(tè)別的要求。
你知道在精密加工時有分幾種加工辦法呢?咱們一起來看下吧。
精密特種加工的(de)加工精度以納米,乃至最終以原子單(dān)位(原子晶格間隔為0.1~0.2納米)為目標(biāo)時,切削加工辦法已不能適應,需求借助特種加(jiā)工的辦法,即使用化學能、電(diàn)化學能、熱能或電能等,使這(zhè)些(xiē)能量(liàng)逾越原子間的結合能,然後去除工件外表的部分原子間的附著、結合或晶格變形,以到達超精密(mì)加工的目的。
例如超大(dà)規(guī)模集成電路的製版(bǎn)就是選用電(diàn)子束對掩膜上的光致(zhì)抗蝕劑(見光刻)進行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未(wèi)聚合過的部分溶解(jiě)掉,製成掩(yǎn)膜。電子束曝射製版(bǎn)需求(qiú)選用工作台定位精度高(gāo)達±0.02微米的超精密加工設備。
歸(guī)於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電(diàn)子束曝射、激(jī)光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等(děng)。這些辦法的特點是對外表層物質(zhì)去除或增加的量可以作極纖細的控製。可是要獲得(dé)超精密的(de)加工精度,仍有(yǒu)賴於精密的加(jiā)工設備和精確的控製係統,並選用(yòng)超(chāo)精密掩膜作中介物。
精密切削加工主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上(shàng)用經過精密研磨的(de)單晶金剛石(shí)車(chē)刀進行微量車削,切削(xuē)厚(hòu)度僅1.5微米左右,常用於加工有色金屬材(cái)料的球麵、非球麵平和麵的反射鏡等高精度、外表高度光(guāng)亮的零件。